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多功能真空规校准的介绍

发布时间:2017-11-19 点击数:914

利用静态稳压比对法校准低真空规管,原理是通过微调阀向校准室注入一定量的气体并使压力稳定,通过被校规测量的数值与标准规测量的数值进行比较,获得被校规的相关参数。该方法适用于测量范围在1×10-1 Pa133kPa 内的规管校准。因为校准压力较高,为避免校准气体对超高真空室的极限真空的影响,设计选用稳压室兼做低真空校准室。作为校准室,需要排除真空室自身放气的影响,因此低真空校准室工作本底真空度需优于1×10-3 Pa。同时要求该校准室的极限真空优于1×10-4 Pa 来保证真空室自身的低泄漏率,避免泄漏的因素对测量结果带来误差。校准的标准规选用inficonCDG045 系列电容薄膜规,该系列薄膜规具有45℃温包,温度恒定,减少周边环境温度变化对规测量结果的影响,且该型薄膜规具有对气体选择性小、精度高、重复性好等特点。通过配备三只标称量程分别是1000Torr10Torr 0.1Torr (1Torr=133Pa) 等于的电容薄膜规可以很好的覆盖1×10-1 Pa133kPa 的校准量程范围,测量精度也能达到校准要求。

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